本专业是理工结合、多学科交叉的综合性学科，是在原真空技术专业基础上扩展而来，具有十分突出的专业特色，在国内真空领域有着重要的影响和良好的声誉，历年来毕业生供不应求，在从事的科研、开发领域中做出了大量重要的工作。本专业在突出专业特色的同时还强化学生的基础和交叉科学知识，提高学生的综合能力和创新意识，毕业生的适应能力强，能适应国民经济和科学发展的需要，从事航空、航天、原子能、材料冶金、化工、制药、石油、轻工、环保、食品等领域中真空技术和过程装备的设计与控制、研究与开发、制造及经营管理等工作。
本专业具有流体机械、化工过程机械两个硕士学位授予权和流体机械博士学位授予权，并设有博士后流动站。
主要课程：计算机应用、软件工程、传感器与测试技术、计算机辅助设计与制造、电工电子学、自动控制原理、工程力学、流体力学、热力学与传热学、机械设计、真空技术、真空应用、过程装备控制、过程装备设计、过程流体机械、工业工程管理等。
毕业生适应范围：表面科学、真空物理、新材料、科学仪器、航空航天、原子能、新光源、新能源、信息通讯、半导体、电子器件及生物工程等领域的研究机构，轻工、制药、化工、食品、环保、冶金、电子及军工等领域高新技术企业，政府相关部门，高等院校相关专业，从事研究、设计、生产、管理、教学等工作。
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