截至目前，开设微机电系统工程专业的大学共计2所，在这些高校中，微机电系统工程专业最好的大学有：
1北京航空航天大学
北京航空航天大学（简称北航）成立于1952年，由当时的清华大学、北洋大学、厦门大学、四川大学等八所院校的航空系合并组建，是新中国第一所航空航天高等学府，现隶属于工业和信息化部。学校分为学院路校区和沙河校区，占地3000亩，总建筑面积150余万平方米。北航一直是国家重点建设的高校，是全国第一批16所重点高校之一，是首批进入“211工程”，2001年进入“985工程”。
创建时间 学校类型 学科类型 隶属单位
1952年 公立 综合 工信部
西北工业大学
西北工业大学坐落于古都西安，是一所以发展航空、航天、航海工程教育和科学研究为特色的多科性、研究型、开放式大学，是“985工程”、“211工程”重点建设学校，隶属于工业和信息化部。是“卓越大学联盟”成员高校之一。1952年中国人民解放军军事工程学院空军工程系在哈尔滨组建，1966年更名为哈尔滨工程学院航空工程系。
创建时间 学校类型 学科类型 隶属单位
1938年 公立 理工 工信部
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